duv和euv技术区别(DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lith)

作者:百科火  更新 :2022-05-01 13:17:43   数码极客  

最佳答案DUV是深紫外线,EUV是极深紫外线。从制程范围来看,DUV基本上只能做到25nm,Intel凭借双工作台的模式做到了10nm,但是却无法达到10nm以下。只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造,并且还可以向5nm、3nm继续延伸。

duv和euv技术区别(DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lith)

DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。从制程范畴看来,DUV大部分只有保证25nm,Intel凭着双工作台的方式实现了10nm,可是却不能做到10nm下列。仅有EUV能达到10nm下列的晶圆制造,而且还可以向5nm、3nm再次延伸。

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