duv和euv技术区别(DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lith)
作者:百科火 更新 :2022-05-01 13:17:43 数码极客
DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。从制程范畴看来,DUV大部分只有保证25nm,Intel凭着双工作台的方式实现了10nm,可是却不能做到10nm下列。仅有EUV能达到10nm下列的晶圆制造,而且还可以向5nm、3nm再次延伸。
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